Microscopio elettronico a scansione a filamento di tungsteno, Eco. SEM, 15x~250000x
Descrizione del prodotto
A63.7062 Filamento di tungsteno Microscopio elettronico a scansione, Eco. SEM | ||
Risoluzione | 4.5nm@30KV(SE); 6nm@30KV (ESB) | |
Ingrandimento | Ingrandimento negativo: 15x~250000x; Ingrandimento dello schermo: 30x~500000x | |
cannone elettronico | Cartuccia a filamento di tungsteno pre-centrato a catodo riscaldato al tungsteno | |
Tensione di accelerazione | 0~30KV | |
Sistema di lenti | Lente elettromagnetica a tre livelli (lente affusolata) | |
Apertura obiettivo | Sistema di vuoto esterno regolabile con apertura al molibdeno | |
Fase del campione | Fase a cinque assi | |
Gamma di viaggio | X (automatico) | 0~50mm |
Sì (automatico) | 0~50mm | |
Z (manuale) | 0~25mm | |
R (manuale) | 360o | |
T (manuale) | -5o~90o | |
Diametro massimo del campione | 150 mm | |
Rivelatore | SE: rivelatore di elettroni secondari ad alto vuoto (con protezione del rivelatore) | |
Modifica | Aggiornamento fase; EBL; STM; AFM; fase di riscaldamento; fase criogenica; fase di trazione; manipolatore micro-nano; SEM + macchina per rivestimento; SEM + laser | |
Accessori | CCD, LaB6, rilevatore di raggi X (EDS), EBSD, CL, WDS, macchina di rivestimento | |
Sistema di vuoto | Pompe turbomolecolari;pompa di rotazione | |
Corrente del fascio di elettroni | 10pA~0.1 |
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